多晶硅生產工藝中選用意大利ADEV進口便攜式微量氧分析儀露點儀測量|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

多晶硅生產工藝中選用意大利ADEV進口便攜式微量氧分析儀露點儀測量


多晶硅,是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶硅。
利用價值:從目前國際太陽電池的發展過程可以看出其發展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。其他產品:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析


工藝流程如下:多晶硅生產工藝中選用意大利ADEV進口便攜式微量氧分析儀露點儀測量

1)石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業硅,

其化學反應SiO2+C→Si+CO2↑
(2)為了滿足高純度的需要,必須進一步提純。把工業硅粉碎并用無水氯化氫(HCl)與之反應在一個流化床反應器中,生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。
其化學反應Si+HCl→SiHCl3+H2↑多晶硅生產工藝中選用意大利ADEV進口便攜式微量氧分析儀露點儀測量
反應溫度為300度,該反應是放熱的。同時形成氣態混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。
(3)第二步驟中產生的氣態混合物還需要進一步提純,需要分解:過濾硅粉,冷凝SiНС13,SiC14,而氣態Н2,НС1返回到反應中或排放到大氣中。然后分解冷凝物SiНС13,SiC14,凈化三氯氫硅(多級精餾)。
(4)凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝,以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。
其化學反應SiHCl3+H2→Si+HCl。多晶硅生產工藝中選用意大利ADEV進口便攜式微量氧分析儀露點儀測量
多晶硅的反應容器為密封的,用電加熱硅池硅棒(直徑5-10毫米,長度1.5-2米,數量80根),在1050-1100度在棒上生長多晶硅,直徑可達到150-200毫米。

這樣大約三分之一的三氯氫硅發生反應,并生成多晶硅。剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14從反應容器中分離。這些混合物進行低溫分離,或再利用,或返回到整個反應中。氣態混合物的分離是復雜的、耗能量大的,從某種程度上決定了多晶硅的成本和該3工藝的競爭力。


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