Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體


 --專為高度純凈的氣體應用場合測量微量濕度而設計的經濟型變送器,埃登威價格超低。
結構堅固的自給式濕度計。

在很多超純氣應用,諸如半導體工業中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。 Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體



亮點

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV) 
測量穩定,重復性好 
高度集成的采樣裝置 
模擬和數字輸出 
安裝簡便 
VCR 過程接口 
設計緊湊小巧 主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析
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PuraMichell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體
技術指標

傳感器 
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;Michell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 *** 10-9 torr;  24 MPa 
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC, ***10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能 ?
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內拋光主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析
?
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口 
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中 
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180gMichell Pura高純氣體露點儀可以測量ppb級別微量水用于半導體
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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應用

半導體/電子業


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